半導体・MEMSのための超臨界流体(中古品)
4,280円(税込)
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623295042
商品説明
(中古品)
半導体・MEMSのための超臨界流体
【ブランド名】
近藤 英一: author; 上野 和良: author; 内田 寛: author; 曽根 正人: author; 生津 英夫: author; 服部 毅: author; 堀照 夫: author; 森口 誠: author; 近藤 英一: editor;
【商品説明】
内容紹介 気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について,その特長と,乾燥,めっき,薄膜体積,洗浄など,半導体・MEMSのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説した,超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。 著者略歴 (「BOOK著者紹介情報」より) 近藤/英一 1985年早稲田大学理工学部金属工学科卒業。1987年早稲田大学大学院博士前期課程修了(資源および金属工学専攻)。川崎製鐵株式会社(現JFEスチール株式会社)勤務。1994年川崎製鐵株式会社ハイテク研究所主任研究員。1995年博士(工学)(京都大学)。1996年IMEC(ベルギー)研究員。1997年IMECエキスパート研究員。1998年九州工業大学助教授。2000年山梨大学助教授。2007年山梨大学教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
当店では初期不良に限り、商品到着から7日間は返品をお受けいたします。
イメージと違う、必要でなくなった等、お客様都合のキャンセル・返品は一切お受けしておりません。
中古品の場合、基本的に説明書・外箱・ドライバーインストール用のCD-ROMはついておりません。
商品名に「限定」「保証」等の記載がある場合でも特典や保証・ダウンロードコードは付いておりません。
写真は代表画像であり実際にお届けする商品の状態とは異なる場合があります。
中古品の場合は中古の特性上キズ、汚れがある場合があります。
他モールでも併売しておりますので、万が一お品切れの場合はご連絡致します。
ご注文からお届けまで
1.ご注文
ご注文は24時間受け付けております
2.注文確認 ご注文後、注文確認メールを送信します
3.在庫確認
在庫切れの場合はご連絡させて頂きます。
※中古品は受注後に、再メンテナンス、梱包しますのでお届けまで3〜7営業日程度とお考え下さい。
4.入金確認
前払い決済をご選択の場合、ご入金確認後、配送手配を致します。
5.出荷
配送準備が整い次第、出荷致します。配送業者、追跡番号等の詳細をメール送信致します。
6.到着
出荷後、1〜3日後に商品が到着します。
※離島、北海道、九州、沖縄は遅れる場合がございます。予めご了承下さい。
半導体・MEMSのための超臨界流体
【ブランド名】
近藤 英一: author; 上野 和良: author; 内田 寛: author; 曽根 正人: author; 生津 英夫: author; 服部 毅: author; 堀照 夫: author; 森口 誠: author; 近藤 英一: editor;
【商品説明】
内容紹介 気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について,その特長と,乾燥,めっき,薄膜体積,洗浄など,半導体・MEMSのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説した,超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。 著者略歴 (「BOOK著者紹介情報」より) 近藤/英一 1985年早稲田大学理工学部金属工学科卒業。1987年早稲田大学大学院博士前期課程修了(資源および金属工学専攻)。川崎製鐵株式会社(現JFEスチール株式会社)勤務。1994年川崎製鐵株式会社ハイテク研究所主任研究員。1995年博士(工学)(京都大学)。1996年IMEC(ベルギー)研究員。1997年IMECエキスパート研究員。1998年九州工業大学助教授。2000年山梨大学助教授。2007年山梨大学教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
当店では初期不良に限り、商品到着から7日間は返品をお受けいたします。
イメージと違う、必要でなくなった等、お客様都合のキャンセル・返品は一切お受けしておりません。
中古品の場合、基本的に説明書・外箱・ドライバーインストール用のCD-ROMはついておりません。
商品名に「限定」「保証」等の記載がある場合でも特典や保証・ダウンロードコードは付いておりません。
写真は代表画像であり実際にお届けする商品の状態とは異なる場合があります。
中古品の場合は中古の特性上キズ、汚れがある場合があります。
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ご注文からお届けまで
1.ご注文
ご注文は24時間受け付けております
2.注文確認 ご注文後、注文確認メールを送信します
3.在庫確認
在庫切れの場合はご連絡させて頂きます。
※中古品は受注後に、再メンテナンス、梱包しますのでお届けまで3〜7営業日程度とお考え下さい。
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5.出荷
配送準備が整い次第、出荷致します。配送業者、追跡番号等の詳細をメール送信致します。
6.到着
出荷後、1〜3日後に商品が到着します。
※離島、北海道、九州、沖縄は遅れる場合がございます。予めご了承下さい。
(中古品)半導体・MEMSのための超臨界流体//近藤 英一: author; 上野 和良: author; 内田 寛: author; 曽根 正人: author; 生津 英夫: author; 服部 毅: author; 堀照 夫: author; 森口 誠: author; 近藤 英一: editor; /内容紹介
気体と液体の性質を併せもつ超臨界流体について,その特長と,乾燥,めっき,薄膜体積,洗浄など,半導体・MEMSのユニットプロセスへの応用をわかりやすく解説した,超臨界流体のマイクロプロセス応用としては初めての本。
著者略歴 (「BOOK著者紹介情報」より)
近藤/英一
1985年早稲田大学理工学部金属工学科卒業。1987年早稲田大学大学院博士前期課程修了(資源および金属工学専攻)。川崎製鐵株式会社(現JFEスチール株式会社)勤務。1994年川崎製鐵株式会社ハイテク研究所主任研究員。1995年博士(工学)(京都大学)。1996年IMEC(ベルギー)研究員。1997年IMECエキスパート研究員。1998年九州工業大学助教授。2000年山梨大学助教授。2007年山梨大学教授(本データはこの書籍が刊行された当時に掲載されていたものです)
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