【単行本】 野尻一男 / はじめての半導体ドライエッチング技術 現場の即戦力 送料無料
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商品の詳細
ジャンル: 建築・理工
フォーマット: 単行本
出版社: 技術評論社
発売日: 2020年10月
ISBN: 9784297115999
発売国: 日本
その他: １８８ｐ ２１ｃｍ（Ａ５）
SKU: 11177298
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出版社: 技術評論社
発売日: 2020年10月
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内容詳細
目次 : １章 半導体集積回路の発展とドライエッチング技術/ ２章 ドライエッチングのメカニズム/ ３章 各種材料のエッチング/ ４章 ドライエッチング装置/ ５章 ドライエッチングダメージ/ ６章 新しいエッチング技術/ ７章 アトミックレイヤーエッチング（ＡＬＥ）/ ８章 ドライエッチング技術の今後の課題と展望
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