【単行本】 益一哉 / 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 MEMS、NEMS、センサ、CMOSLSIの融合 新材料・新素材シリーズ 送
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商品の詳細
ジャンル: 建築・理工
フォーマット: 単行本
出版社: シーエムシー出版
発売日: 2019年04月
ISBN: 9784781313641
発売国: 日本
その他: 279p 26cm(B5)
SKU: 9763781
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ジャンル: 建築・理工
フォーマット: 単行本
出版社: シーエムシー出版
発売日: 2019年04月
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SKU: 9763781
内容詳細
目次 : 第1編 総論編/ 第2編 プロセス技術編/ 第3編 回路・デバイス設計技術編/ 第4編 NEMS技術編/ 第5編 センサ技術編/ 第6編 RF‐MEMS技術編/ 第7編 エネルギーハーベスト技術編/ 第8編 実装技術編/ 第9編 解析・評価技術編
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