【単行本】 江刺正喜 / 超並列電子ビーム描画装置の開発 集積回路のディジタルファブリケーションを目指して 送料無料
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商品の詳細
ジャンル: 建築・理工
フォーマット: 単行本
出版社: 東北大学出版会
発売日: 2018年06月
ISBN: 9784861632969
発売国: 日本
その他: 228p 21cm(A5)
SKU: 8801186
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出版社: 東北大学出版会
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内容詳細
目次 : 第1章 マスクレス露光と電子ビーム描画・転写(マスクレス露光(描画)/ 各種電子ビーム描画・転写)/ 第2章 並列電子ビーム描画の課題(電子ビーム制御/ 電子ビームの集束と電子レンズ ほか)/ 第3章 並列電子ビーム描画装置用電子源(研究されてきた各種電子源/ ナノクリスタルシリコン(nc‐Si)電子源)/ 第4章 超並列電子ビーム描画(MPEBW)(システム構成/ 電子源アレイ ほか)/ 第5章 応用と今後の課題(デバイス大量生産への応用/ マルチビーム技術の直接描画への応用 ほか)
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