これからのMEMS LSIとの融合/江刺正喜/小野崇人
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243515949
商品説明
【内容紹介】
MEMSはシーズからニーズの時代へ.
MEMS研究の世界的権威である著者が初めて解説し、大きな反響を呼んだ『はじめてのMEMS』に続く待望の続編です.
情報処理を担う集積回路にMEMSを組み合わせるヘテロ集積化技術で、これまで以上に高機能なデバイスやセンサが可能になり、「次世代携帯機器」「センサネットワーク」「光マイクロシステム」「バイオ・医療」「製造・検査」などをはじめとするMEMSの幅広い応用が期待されています.
本書では、そうした応用やニーズ面、開発の実際などをおもに取り上げ、具体的に解説しています.
これからMEMS技術を取り入れたいと考える技術者・研究者が、MEMSの概要や現状を学ぶのに最適な1冊です.
MEMSはシーズからニーズの時代へ.
MEMS研究の世界的権威である著者が初めて解説し、大きな反響を呼んだ『はじめてのMEMS』に続く待望の続編です.
情報処理を担う集積回路にMEMSを組み合わせるヘテロ集積化技術で、これまで以上に高機能なデバイスやセンサが可能になり、「次世代携帯機器」「センサネットワーク」「光マイクロシステム」「バイオ・医療」「製造・検査」などをはじめとするMEMSの幅広い応用が期待されています.
本書では、そうした応用やニーズ面、開発の実際などをおもに取り上げ、具体的に解説しています.
これからMEMS技術を取り入れたいと考える技術者・研究者が、MEMSの概要や現状を学ぶのに最適な1冊です.
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