【単行本】 江刺正喜 / これからのMEMS LSIとの融合 送料無料
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商品の詳細
ジャンル: 建築・理工
フォーマット: 単行本
出版社: 森北出版
発売日: 2016年06月
ISBN: 9784627775510
発売国: 日本
その他: 151p 21cm(A5)
SKU: 7026605
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ジャンル: 建築・理工
フォーマット: 単行本
出版社: 森北出版
発売日: 2016年06月
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内容詳細
MEMSはシーズからニーズの時代へ。これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、MEMSの今後の開発促進や有効利用をMEMS研究の世界的権威が解説する待望の一冊。「はじめてのMEMS」続編。
目次 : 第1章 ヘテロ集積化(MEMSとLSIの融合)/ 第2章 次世代携帯機器/ 第3章 センサネットワーク・高機能センサ/ 第4章 光マイクロシステム/ 第5章 バイオ・医療用マイクロシステム/ 第6章 製造・検査装置/ 第7章 高度化と有効活用への道
目次 : 第1章 ヘテロ集積化(MEMSとLSIの融合)/ 第2章 次世代携帯機器/ 第3章 センサネットワーク・高機能センサ/ 第4章 光マイクロシステム/ 第5章 バイオ・医療用マイクロシステム/ 第6章 製造・検査装置/ 第7章 高度化と有効活用への道
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