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【単行本】 重里有三 / 半導体プロセス・形状シミュレーション技術 加工精度向上のツボ 送料無料

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商品の詳細

ジャンル: 建築・理工
フォーマット: 単行本
出版社: オーム社
発売日: 2012年10月
ISBN: 9784274212741
発売国: 日本
その他: 220p 21cm(A5)
SKU: 5232831

内容詳細

目次 : 第1部 半導体産業とプロセスの概要(半導体産業をシミュレーションと新しいデバイスで復活/ 半導体プロセス)/ 第2部 半導体プロセスのマルチスケールシミュレーション(半導体開発とシミュレーション/ シミュレーションの導入/ ガス解離のシミュレーション ほか)/ 第3部 半導体プロセス・形状シミュレーションの応用展開(装置性能を高めるシミュレーション(1)―装置の均一性/ 装置性能を高めるシミュレーション(2)―パーティクル低減/ 配線コンタクトのモジュールシミュレーション ほか)

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180091903



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