【全集・双書】 平本俊郎 / 集積ナノデバイス 半導体デバイスシリーズ 送料無料
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商品の詳細
ジャンル: 建築・理工
フォーマット: 全集・双書
出版社: 丸善出版サービスセンター
発売日: 2009年11月
ISBN: 9784621082089
発売国: 日本
その他: 227p 21cm(A5)
SKU: 3724166
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フォーマット: 全集・双書
出版社: 丸善出版サービスセンター
発売日: 2009年11月
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SKU: 3724166
内容詳細
変革期を迎えるVLSI技術、半導体デバイス技術の差別化のコア技術について、第一線の研究者、技術者がまとめた半導体工学の本格的専門書シリーズ。本書はシリーズ第1巻。ナノスケールVLSIデバイス技術について、動作原理の基礎と諸問題の技術的背景、その対処法をまとめた。ナノ領域における開発現場での応用と着目点、解決すべき問題を整理。
目次 : 1 序論(スケーリング則とムーアの法則/ 集積ナノデバイスの諸問題 ほか)/ 2 MOSトランジスタの基礎(MOSトランジスタの構造と動作/ MOSトランジスタの1次近似モデル ほか)/ 3 微細トランジスタの性能向上(極薄膜Siや3次元構造Siによる新構造トランジスタ/ 移動度向上技術(ひずみ
目次 : 1 序論(スケーリング則とムーアの法則/ 集積ナノデバイスの諸問題 ほか)/ 2 MOSトランジスタの基礎(MOSトランジスタの構造と動作/ MOSトランジスタの1次近似モデル ほか)/ 3 微細トランジスタの性能向上(極薄膜Siや3次元構造Siによる新構造トランジスタ/ 移動度向上技術(ひずみ
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