【単行本】 江刺正喜 / はじめてのMEMS 送料無料
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商品の詳細
ジャンル: 建築・理工
フォーマット: 単行本
出版社: 森北出版
発売日: 2011年03月
ISBN: 9784627784918
発売国: 日本
その他: 230p 21cm(A5)
SKU: 4030441
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ジャンル: 建築・理工
フォーマット: 単行本
出版社: 森北出版
発売日: 2011年03月
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内容詳細
最先端技術MEMS(微小電気機械システム)の世界的権威である著者が、半導体技術に異分野技術を取り込んだMEMSをわかりやすく解説。
目次 : 第1章 マイクロマシーニングとMEMS(マイクロマシーニングとMEMS/ MEMSの歴史)/ 第2章 MEMSの製作(パターニング/ エッチング/ 堆積と応力制御/ 接合/ 複合バランス/ 集積化/ パッケージングと組立/ 設計・評価)/ 第3章 MEMSの要素(センサ/ アクチュエータ/ エネルギー源)/ 第4章 MEMSの応用(自動車・家電応用/ 情報・通信応用/ 製造・検査応用/ 医療・バイオ応用/ MEMSビジネス)
目次 : 第1章 マイクロマシーニングとMEMS(マイクロマシーニングとMEMS/ MEMSの歴史)/ 第2章 MEMSの製作(パターニング/ エッチング/ 堆積と応力制御/ 接合/ 複合バランス/ 集積化/ パッケージングと組立/ 設計・評価)/ 第3章 MEMSの要素(センサ/ アクチュエータ/ エネルギー源)/ 第4章 MEMSの応用(自動車・家電応用/ 情報・通信応用/ 製造・検査応用/ 医療・バイオ応用/ MEMSビジネス)
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